EUV펠리클 (1) 썸네일형 리스트형 EUV 펠리클 삼성전자 도입시 관련주 에스앤에스텍 안녕하세요 벨카입니다. 삼성전자가 연내에 극자외선(EUV) 노광 공정에 '펠리클'을 투입할 전망으로 보고 있습니다. 이와 관련한 포스팅을 하도록 하겠습니다. EUV 펠리클 펠리클이란? 펠리클은 노광공정 중 발생할 수 있는 마스크(반도체 회로가 그려진 판) 오염을 방지하는 부품입니다. 웨이퍼에 찍을 회로가 그려진 포토마스크의 덮개 역할을 합니다. EUV 펠리클은 이물질을 차단하고 포토마스크를 좀 더 오래 쓸 수 있도록 돕는 역할을 합니다. EUV용 포토마스크는 수억원을 호가하기 때문에 펠리클을 적용하면 절감을 할 수 있지만 공정이 오래 걸린다는 단점이 있습니다. EUA 펠리클 삼성전자 도입 삼성전자는 82% 투과율의 펠리클 기술을 확보했으며, 2022년까지 투과율 88% 제품 양산 체계를 갖추겠다고 밝힌 .. 이전 1 다음
